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SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。可以檢測三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000數(shù)控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000導(dǎo)軌運動精度激光干涉診斷校準儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光切割機精度激光干涉校準儀線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm，在數(shù)控機床、激光切割機等行業(yè)廣泛應(yīng)用。