SJ6000國產(chǎn)便攜激光干涉儀可進行動態(tài)高速測量,配以相應(yīng)元件后可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。它還可以棄普通車間進行應(yīng)用,環(huán)境適應(yīng)能力強。
SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何量,可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
SJ6000系列激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
回轉(zhuǎn)軸測量需借助WR50自動精密轉(zhuǎn)臺,與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上,作為測角標準器,WR50可實現(xiàn)0~360°的角度測量范圍,±1″的測量精度,轉(zhuǎn)速為10rpm。
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