簡要描述:SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何量,可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 是 | 測量距離 | (0-80)m |
測量精度 | 0.5ppm(0-40)℃ | 測量分辨力 | 1nm |
軸向量程 | (0-15)m | 測量范圍 | ±10° |
SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備采用高性能氦氖激光器、激光縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)以及納米級的分辨率,集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,是高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品配置
(依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺)
產(chǎn)品特點
SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何參量的高精度測量,可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
測量機床垂直度
測量機床定位精度
WR50自動精密轉(zhuǎn)臺測量機床回轉(zhuǎn)軸精度
在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
注意事項
1)對角線測量套裝配置需求:對角線測量套裝+可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
2)平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
3)平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
4)短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
5)長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
6)直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
配件與證書
SJ6000激光干涉儀以激光干涉技術(shù)為核心,分辨率可達納米級,SJ6000激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。內(nèi)置各種類國標(GB)、ISO()、BS(英制)、美標、DIN(德標)、JIS(日標)等機床檢驗標準。可依據(jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù),并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
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