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SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺上，在產(chǎn)線上對器件表面進行自動化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。