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        中圖儀器白光干涉儀

        簡要描述:中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量,具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領域分為微納材料、超精密加工(機械、光學)、半導體封裝、消費電子類這四個領域。

        • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        • 更新時間:2024-08-09
        • 訪  問  量:979

        詳細介紹

        品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
        加工定制儀器尺寸900x700x604mm
        儀器主機重量150kg臺階測量準確度0.3%
        粗糙度RMS重復性0.005nm

        白光干涉儀適合檢測的樣品按領域分為微納材料、超精密加工(機械、光學)、半導體封裝、消費電子類這四個領域。


        其中消費電子類即智能電子產(chǎn)品的玻璃外殼、內(nèi)嵌組裝要求比較高的超光滑薄片,如home鍵、手機攝像頭里的薄片;

        半導體行業(yè)的整個產(chǎn)業(yè)鏈上的工藝流程是:硅棒經(jīng)過一系列切削、打磨物理化學方法后獲得比較粗糙的硅片,經(jīng)過單面拋光后即成為可進行蝕刻工藝(將IC芯片蝕刻到拋光面)的硅片,上述兩個步驟獲得的是半導體領域里原材料硅片,屬于來料部分,對拋光后的硅片拋光面粗糙度有要求,一般要求在1nm及以下。


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        中圖儀器白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,獲取質(zhì)量參數(shù),可以達到納米級的檢測精度。


        產(chǎn)品參數(shù)

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        表面質(zhì)量等級非常高的各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物進行測量,如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學影像方法,也沒有辦法克服它們的高透明度特性。但用中圖儀器白光干涉儀可以解決。


        玻璃屏檢測

        生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見的玻璃屏,需要對其表面粗糙度和輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例:


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        玻璃屏表面粗糙度檢測


        藍寶石玻璃檢測

        藍寶石有優(yōu)良的物理和化學特性,常被用于制作成各種光學元件。其主要成分是氧化鋁(Al?O?),主要用于制成攝像頭保護鏡、棱鏡、表鏡等,加工出來的藍寶石玻璃分為雙面拋光和單面拋光兩種,表面粗糙度就是決定了拋光程度(即表面質(zhì)量等級)的直接因素。


        650藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度.jpg

        一片單面拋光藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測圖像及數(shù)據(jù)


        “見一葉而知深秋,窺一斑而見全豹" 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀,在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。




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